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『平坦化：CMP（Chemical Mechanical Polishing）』

出典: 半導体産業新聞 - CPM装置を構成する各部材をビデオ映像でご覧いただき、それに解説を施していきます。また、ウェハ投入からCMP後洗浄を経てアンロードされるまで、CMPプロセス処理の流れもビジュアルでご確認いただきます。講師：中原司(株)エム・エー・ティ代表取締役14：30〜15：30被研磨材料（プロセス）別に見るCMP技術の抱える課題素子分離／SiO2系／Wプラグ／Cu・low-k／終点検出／CMP後洗浄CMPを主 ＞＞＞続きを読む

http://www.semicon-news.co.jp/forum/htm/h15ev080703-j.htm

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