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出典: Tech On! (会員登録） - nMOSには多結晶Siゲートを使う。ゲート部のFUSIは，ソース・ドレインのNiSiと同時にシリサイド化する。熱拡散が起こりやすいソース・ドレイン部に対し，ゲート部は熱絶縁性の高い側壁があるためにアニール時に高温となり，溶融が起きる。この結果，NiSi2相のFUSIを形成できる。ここで，FLAは本来の低拡散アニールの役割も果たしている。両社とも，今回はゲート絶縁膜に高誘電率（high-k）膜ではな ＞＞＞続きを読む

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